SF6氣體已有百年歷史，它是法國(guó)兩位化學(xué)家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國(guó)軍方將其用于曼哈頓計(jì)劃（核軍事）。1947年提供商用。當(dāng)前SF6氣體主要用于電力工業(yè)中。SF6氣體用于4種類(lèi)型的電氣設(shè)備作為絕緣和/或滅?。籗F6斷路器及GIS（在這里指六氟化硫封閉式組合電器，國(guó)際上稱(chēng)為“氣體絕緣開(kāi)關(guān)設(shè)備”（Gas Insulated Switchgear)）、SF6負(fù)荷開(kāi)關(guān)設(shè)備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。80%用于高中壓電力設(shè)備。
其無(wú)色無(wú)臭無(wú)味，密度大約是空氣的5倍，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，微溶于水、醇及醚，，可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學(xué)的反應(yīng)。
六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氮?dú)獾?.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油之間的新一代壓絕緣介質(zhì)材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如：斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。冷凍工業(yè)作為制冷劑，制冷范圍可在-45℃～0℃之間。電氣工業(yè)利用其很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能，用作高壓開(kāi)關(guān)、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。
雖然六氟化硫本身對(duì)人體無(wú)毒、無(wú)害，但它卻是一種溫室效應(yīng)氣體，其單分子的溫室效應(yīng)是二氧化碳的2.2萬(wàn)倍，是《京都議定書(shū)》中被禁止排放的6種溫室氣體之一。當(dāng)今世界六氟化硫的排放量極少，對(duì)溫室效應(yīng)的貢獻(xiàn)相比于二氧化碳而言完全可以忽略；但出于長(zhǎng)久的環(huán)保，如何合理、正確的回收凈化六氟化硫氣體，是須解決的問(wèn)題。
六氟化硫氣體的毒性主要來(lái)自5個(gè)方面。
1、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體在高溫電弧發(fā)生作用時(shí)而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。
2、六氟化硫產(chǎn)品不純，出廠時(shí)含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。
3、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。
4、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。
5、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹(shù)脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。
為保障設(shè)備運(yùn)行，SF6氣室會(huì)裝有SF6密度繼電器，我們知道，同一純度下直接測(cè)量氣體密度是通過(guò)氣體質(zhì)量、體積，而工況卻無(wú)法測(cè)量。為此工程師們?cè)O(shè)計(jì)了另一種間接反應(yīng)SF6密度的方法，即測(cè)量氣室內(nèi)壓力、溫度，其工作原理是通過(guò)測(cè)量容器內(nèi)壓力、溫度，通過(guò)同樣條件下實(shí)測(cè)參數(shù)進(jìn)行標(biāo)定，從而間接反映氣室內(nèi)SF6密度情況。該方法被廣泛應(yīng)用在檢測(cè)SF6氣室因大量泄露而導(dǎo)致的人員及設(shè)備。而SF6微量泄露卻無(wú)法通過(guò)本方法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。
純凈的SF6氣體雖然無(wú)毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過(guò)大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶(hù)內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。
在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強(qiáng)烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應(yīng)用SF6的工作場(chǎng)所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測(cè)設(shè)備。
SF6氣體泄露監(jiān)測(cè)的主要方法有以下五種：
SF6氣體泄露監(jiān)測(cè)的主要方法有以下五種：
1）電化學(xué)技術(shù)（TGS830、TGS832）費(fèi)加羅傳感器或鹵素氣體傳感器。
電化學(xué)技術(shù)的原理是被檢測(cè)氣體接觸到200°C左右高溫的催化劑表面，并與之發(fā)生相應(yīng)的化學(xué)反應(yīng)，從而產(chǎn)生電信號(hào)的改變，以此來(lái)發(fā)現(xiàn)被檢測(cè)氣體。電化學(xué)技術(shù)其成本低、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以連續(xù)工作的特點(diǎn)。但其檢測(cè)分辨率較低，無(wú)法發(fā)現(xiàn)微量泄露。
2）高壓擊穿技術(shù)。
電擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開(kāi)關(guān)柜中演變而來(lái)的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間電壓的變化來(lái)判斷空氣中是否含有SF6氣體。因其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，成本低，檢測(cè)精度相對(duì)高的特點(diǎn)。該方法壽命短、溫度漂移大、濕度和粉塵影響大，鹵素類(lèi)氣體對(duì)其有干擾，不適用于在線式系統(tǒng)。
3）紅外光譜技術(shù)
紅外光譜吸收技術(shù)(又稱(chēng)激光技術(shù)）的原理是SF6作為溫室氣體，對(duì)特定波段的紅外光有很強(qiáng)烈的吸收特性。紅外光譜技術(shù)的特點(diǎn)是成本高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，靈敏度高，不受環(huán)境的影響和干擾，對(duì)環(huán)境的溫度和濕度的變化所帶來(lái)的檢測(cè)誤差很小，由于其是采用主動(dòng)抽取測(cè)試點(diǎn)氣體的原理，帶來(lái)的效果是發(fā)現(xiàn)泄漏早，反應(yīng)迅速。同時(shí)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對(duì)工程實(shí)施中的布線也帶來(lái)了很大的方便。
4）電子捕獲ECD原理
電子捕獲檢測(cè)器（electron capture detector)，簡(jiǎn)稱(chēng)ECD。 電子捕獲檢測(cè)器也是一種離子化檢測(cè)器，它是一個(gè)有選擇性的高靈敏度的檢測(cè)器，它只對(duì)具有電負(fù)性的物質(zhì)，如含鹵素、硫、磷、氮的物質(zhì)有信號(hào)，物質(zhì)的電負(fù)性越強(qiáng)，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測(cè)器的靈敏度越高，而對(duì)電中性（無(wú)電負(fù)性）的物質(zhì)，如烷烴等則無(wú)信號(hào)。
5）超聲波法
超聲波在固定距離中傳播時(shí)間是跟聲波所通過(guò)的介質(zhì)有一定的關(guān)系，理論上，當(dāng)不同濃度SF6與空氣混合后，通過(guò)固定距離所需時(shí)間與SF6濃度存在一定的關(guān)系，通過(guò)所需時(shí)間長(zhǎng)短直接反應(yīng)SF6氣體濃度。缺點(diǎn)：超聲波易受濕度、溫度影響非常大，微量SF6的信號(hào)也是很微弱的，容易被空氣的濕度或溫度的變化所干擾，因此，在測(cè)低濃度時(shí)易造成誤報(bào)或不報(bào)，適合高濃度檢測(cè)。通過(guò)大量檢測(cè)，當(dāng)SF6濃度達(dá)10000ppm以上，超聲波法檢測(cè)比較可靠。
5）超聲波法
超聲波在固定距離中傳播時(shí)間是跟聲波所通過(guò)的介質(zhì)有一定的關(guān)系，理論上，當(dāng)不同濃度SF6與空氣混合后，通過(guò)固定距離所需時(shí)間與SF6濃度存在一定的關(guān)系，通過(guò)所需時(shí)間長(zhǎng)短直接反應(yīng)SF6氣體濃度。缺點(diǎn)：超聲波易受濕度、溫度影響非常大，微量SF6的信號(hào)也是很微弱的，容易被空氣的濕度或溫度的變化所干擾，因此，在測(cè)低濃度時(shí)易造成誤報(bào)或不報(bào)，適合高濃度檢測(cè)。通過(guò)大量檢測(cè)，當(dāng)SF6濃度達(dá)10000ppm以上，超聲波法檢測(cè)比較可靠。
參考資料
1． 六氟化硫——MSDS ．
2． 化學(xué)性質(zhì)——化工詞典 ．
3． 制備——化工詞典 ．
4． 六氟化硫氣體對(duì)人類(lèi)環(huán)境的影響 ．六氟化硫 [引用日期2014-09-16] ．
5． 六氟化硫技術(shù)說(shuō)明 ．六氟化硫msds [引用日期2014-06-26] ．
6． 六氟化硫與溫室效應(yīng) ．中國(guó)知網(wǎng) [引用日期2013-12-11] ．
7． 六氟化硫 ．化化網(wǎng) [引用日期2014-10-20] ．
8． 六氟化硫氣體及其電弧分解物的毒性試驗(yàn) ．知網(wǎng) [引用日期2014-06-26] ．
9． 【每日一詞】六氟化硫 ．GeekWall極客墻 ．2012-05-07 [引用日期2012-12- 23] ．
10． 六氟化硫氣體的電性能 ．六氟化硫 [引用日期2014-10-31] ．
