SF6氣體早是由兩位法國科學家Moissan和Lebeau與1900年合成，是一種人造的惰性氣體，1947年開始投入商用，目前SF6氣體主要用于電力工業中作為絕緣/滅弧介質，主要用于GIS、SF6斷路器等高中壓電力設備中。

SF6氣體是一種無色無味無毒氣體，相對空氣密度為5.11，化學性質穩定，300℃以下干燥環境中不與銅、鐵、鋁等金屬反應。

雖然SF6氣體無毒且化學性質相對穩定，但在電弧、高溫條件下會發生分解，產生劇毒的含硫化合物，而且這些分解產物還可能與設備內的電極（銅-鎢合金）及金屬材料（鋁、銅等）發生反應生成其他有毒氣體，一旦發生泄漏，對運維人員的人身將造成很大威脅。不僅如此，SF6氣體的分解、泄漏還會大大降低絕緣/滅弧性能，對電氣設備的運行埋下隱患。如SF6氣體分解產物四氟化硫（SF4）、亞硫酰二氟（SOF2）、硫酰二氟（SO2F2）等，這些氣體不但是有毒氣體，而且還能和設備中殘留的水發生反應生成具有腐蝕性的氫氟酸（HF），會對電氣設備及其他零部件、絕緣材料產生腐蝕作用，致使其絕緣性能降低，影響設備使用。

                 部分六氟化硫分解物的性質及對人體的影響

化合物

                         性質

       對人體的影響

HF

溶于水，具有腐蝕性，可與Al?O?反應

刺激呼吸道，傷害皮膚

SO2

與水反應生成H?SO?

危害肺部

SF2

易溶于水，與Al?O?反應

刺激呼吸道，傷害皮膚

 S2F10

不水解，300℃熱解

導致肺水腫

SOF2

不易水解，與AL2D3反應

導致肺水腫

SOF4

可水解

傷害肺部

SO2F2

不水解，400℃以上仍穩定

導致肺出血

OF2

不水解，稍溶于水

傷害肺部

上表所示，SF6的部分分解產物對人體的傷害不容小視。不僅如此，由于很難保證電氣設備中出于完全干燥狀態，而分解產物中又有部分氣體可與水反應生成酸性溶液，會導致設備內部某些元器件的腐蝕，導致絕緣劣化、介電性能劣化等。

那么我們應該如何預防SF6的分解給設備和人體帶來的危害呢？

1、采用SF6泄漏報警系統，當環境中SF6濃度達到某一閾值時報警并啟動通風裝置，防止對人員健康造成影響；

2、采用局部放電在線監測系統，因為局部放電對設備危害極大，放電還會導致SF6的分解，因此采用局部放電在線監測系統實時監測有無局部放電，便于運維人員及時發現故障；

3、采用密度微水監測系統，監測GIS內部SF6的濃度、壓力、含水率等物理量。