由于SF6在GIS系統中的作用與地位不容忽視，因此一直以來在如何實現對其狀態的監測方面給予了充分的關注。傳統技術環境下，SF6氣體的檢測方式包括氣壓表測量法和密度繼電器測量法，以及半導體測量法等，并且超聲波測量以及負電暈放電測量也是常見的六氟化硫SF6在線監測方法。
其中氣壓表測量主要是對密閉的GIS中氣體壓力展開測度，從而實現對于GIS中SF6是否存在變質問題實現判斷。但是考慮到在溫度變化劇烈的環境中，SF6氣體壓力會隨之有所變化，因此此種方式只有在環境溫度變化不顯著的時候才能展開有效應用，并且無法實現相關數據的自動化獲取，其測定結果通常僅供參考。
而對于密度繼電器測量而言，其機械屬性本身決定了其抗震能力等方面均不盡如人意，因此無法實現氣體微量泄露的測定。
半導體傳感器則以二氧化錫半導體作為電極，依據其強親氟化物的特征來實現對于空氣中氣體含量的測定。此種測定方式能夠實現較高精度，并且在成本方面也占據極大優勢，但是壽命相對有限，隨著壽命的延伸其誤報率有了顯著增高。
采用超聲波測速法展開對于SF6氣體泄漏的測量，是根據超聲波傳播速度隨氣體摩爾質量增加而變化這一特性。SF6氣體的摩爾質量是空氣的五倍，因此當其發生泄漏的時候，會導致周圍環境介質摩爾質量的顯著上升，從而實現對于其密封狀況的判斷。此種工作方式雖穩定且精度較高，但是成本昂貴，因此難以實現大面積應用。
負電暈放電檢測設備通常置于電站開關柜內，是當前比較常見的檢測設備，具有結構簡單、可靠性高的特征，且成本控制相對較容易，十分適合大范圍在線監測。但是此種技術相對而言壽命較短，容易造成誤報警問題的發生，可信度已經成為阻礙其進一步深入應用的主要因素。
